PECVD ফার্নেস সিস্টেম
এই পণ্যটি একটি মাঝারি আকারের, স্লাইড-ওপেন PECVD সিস্টেম। এই PECVD টিউব ফার্নেস সিস্টেমটি একটি প্লাজমা আরএফ পাওয়ার সাপ্লাই, একটি ত্রিমুখী ভর প্রবাহ গ্যাস মিক্সিং সিস্টেম (1-100 SCCM, 1-200 SCCM, এবং 1-200 SCCM এর রেঞ্জ সহ), একটি 60 মিমি ব্যাসের খোলা টিউব ফার্নেস (একটি $ ফ্ল্যাং এবং $ ফ্ল্যাং এবং $ কানেক্ট পাম্পের সাথে) সজ্জিত।
| পণ্যের মডেল | স্লাইডিং PECVD টিউব ফার্নেস সিস্টেম——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| প্রধান পণ্য পরামিতি | পাওয়ার সাপ্লাই: 220V 50/60Hz; রেট পাওয়ার: 3.1 কিলোওয়াট; সর্বোচ্চ অপারেটিং তাপমাত্রা: 1200°C (<0.5 h); ক্রমাগত অপারেটিং তাপমাত্রা: ≤1100°C; প্রস্তাবিত গরম করার হার: ≤10°C/মিনিট; হিটিং জোন দৈর্ঘ্য: 440 মিমি; থার্মোকল: কে-টাইপ |
| প্রধান বৈশিষ্ট্য | আরএফ পাওয়ার সাপ্লাই প্লাজমা বর্ধন অর্জন করতে পারে এবং পরীক্ষামূলক তাপমাত্রা উল্লেখযোগ্যভাবে কমাতে পারে; দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি এবং পতন ফার্নেস বডি স্লাইডিং দ্বারা অর্জন করা যেতে পারে; ফিল্মের চাপ আরএফ পাওয়ার সাপ্লাইয়ের ফ্রিকোয়েন্সি দ্বারা নিয়ন্ত্রিত হতে পারে; stoichiometry প্রক্রিয়া সমন্বয় দ্বারা নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে; বিভিন্ন উপকরণ যেমন SiOx, SiNx, SiOxNy এবং (a-Si:H) জমা করা যেতে পারে |
| গরম করার উপাদান | আয়রন-ক্রোমিয়াম-অ্যালুমিনিয়াম খাদ তার 0Cr21Al6Nb |
| চুল্লি টিউব আকার | কোয়ার্টজ টিউব ব্যাস ঐচ্ছিক: Φ60 |
| তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা | একটি YD858 তাপমাত্রা নিয়ামক অন্তর্ভুক্ত; পিআইডি নিয়ন্ত্রণ এবং স্ব-টিউনিং সমন্বয়, বুদ্ধিমান 50-সেগমেন্ট প্রোগ্রামেবল নিয়ন্ত্রণ, অতিরিক্ত তাপমাত্রা এবং বার্নআউট অ্যালার্ম ফাংশন সহ; তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সঠিকতা: ±1℃ |
| প্লাজমা আরএফ পাওয়ার সাপ্লাই | 300W আরএফ পাওয়ার সাপ্লাই; আউটপুট শক্তি: 0~300W নিয়মিত; আরএফ ফ্রিকোয়েন্সি: 13.56MHZ; স্বয়ংক্রিয় মিল; নয়েজ লেভেল <50dB; কুলিং পদ্ধতি: এয়ার কুলিং; ইনপুট ভোল্টেজ: 180~250V |
| ভ্যাকুয়াম সিলিং ফ্ল্যাঞ্জ ইন্টারফেস | স্ট্যান্ডার্ড কনফিগারেশন: এক জোড়া স্টেইনলেস স্টীল ভ্যাকুয়াম ফ্ল্যাঞ্জ এবং উচ্চ-তাপমাত্রার সিলিকন সিলিং রিং; আউটলেট ফ্ল্যাঞ্জগুলি হল তিনটি পোর্ট ফ্ল্যাঞ্জ K16, KF25, এবং Φ8.2; আউটলেট ফ্ল্যাঞ্জ একটি বেলো দিয়ে KF25 অ্যাডাপ্টারের সাথে এবং তারপর ভ্যাকুয়াম পাম্পের সাথে সংযুক্ত হতে পারে। |
| ভ্যাকুয়াম পাম্প | ডবল রোটারি ভ্যান যান্ত্রিক ভ্যাকুয়াম পাম্প TRP-12 গ্রহণ করুন; ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী 10-2torr পৌঁছতে পারে; ভ্যাকুয়াম সংযোগের আনুষাঙ্গিকগুলি টিউব ফার্নেস এবং ভ্যাকুয়াম পাম্প সংযোগের জন্য KF25 ক্ল্যাম্প এবং স্টেইনলেস স্টীল বেলো দিয়ে সজ্জিত |
| গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থা | থ্রি-ওয়ে ভর ফ্লো মিক্সিং সিস্টেম - GYS-3Z; পাওয়ার সাপ্লাই: 220V 50/60Hz; পরিমাপের রেঞ্জ: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; সামনের প্যানেলে একটি যান্ত্রিক চাপ গেজ ইনস্টল করা হয় এবং মিক্সিং পাইপের সাথে সংযুক্ত থাকে; চাপ গেজ পরিসীমা: -0.1-0.15MPa; মিক্সিং ট্যাঙ্কের আকার: Φ80*120 মিমি; অভ্যন্তরীণ সংযোগ পাইপ হল Φ6.35 |
| চুল্লি গঠন | ফার্নেস বডিটি বাম এবং ডানে সরানো যেতে পারে এবং আরএফ পাওয়ার সাপ্লাই বাম এবং ডানে সরানো যেতে পারে। ফার্নেস বডি এবং আরএফ পাওয়ার সাপ্লাই একই স্লাইড রেলে ইনস্টল করা হয় এবং একই কোয়ার্টজ টিউব ব্যবহার করে। |
| সার্টিফিকেশন মান এবং মূল উপাদান | পুরো মেশিনের মূল উপাদানগুলি CE, UL, MET এবং অন্যান্য সার্টিফিকেশন মানগুলির সাথে সম্মতি দেয়; মূল উপাদানগুলির মধ্যে রয়েছে ABB বৈদ্যুতিক উপাদান, UL প্রত্যয়িত তার এবং তারগুলি, ওমেগা, ইউডিয়ান, মহাদেশীয় যন্ত্র, ইত্যাদি। |

-
ভূমিকা ভ্যাকুয়াম তাপ চিকিত্সা ভ্যাকুয়াম তাপ চিকিত্সা একটি উন্নত ধাতব প্রক্রিয়া যা যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য এবং শিল্প উপাদানগুলির স্থায়িত্ব উন্নত করতে ব্যবহৃত হয়। ভ্যাকুয়াম পরিবেশে উপকরণ গরম করার মাধ্যমে, অক্সিডেশন এবং দূষণ হ্রাস করা হয়, যার ফলে সুনির্দিষ্ট এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ উপাদান কর্মক্ষমতা হয়। এই কৌশলটি মহাকাশ, স্বয়ংচালিত, সরঞ্জাম উত্পাদন এবং ইলেকট্রনিক্সের মতো শিল্পগুলিতে ব্যাপকভাবে প্রয়োগ করা হয়। বর্ধিত উপাদান শক্তি এবং কঠোরতা ভ্যাকুয়াম তাপ চিকিত্সার প্রাথমিক সু...



