পিইসিভিডি টিউব ফার্নেস
PECVD টিউব ফার্নেস হল একটি প্লাজমা গ্যাস ফেজ ডিপোজিশন টিউব ফার্নেস সিস্টেম, যা একটি কোয়ার্টজ প্রতিক্রিয়া চেম্বার, একটি রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই, একটি মাল্টি-চ্যানেল গ্যাস মিক্সিং সিস্টেম, একটি ভ্যাকুয়াম ইউনিট এবং একটি প্রতিক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা নিয়ে গঠিত। চুল্লি উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা ফাইবার উপাদান ব্যবহার করে, এবং যন্ত্রের পরিষেবা জীবন বাড়ানোর জন্য এবং গরম করার দক্ষতা উন্নত করার জন্য পৃষ্ঠটি আমদানি করা উচ্চ-তাপমাত্রা অ্যালুমিনা আবরণ দিয়ে লেপা হয়। একটি রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি ইন্ডাকশন ডিভাইসটি প্রথাগত রাসায়নিক বাষ্প জমার সামনে ইনস্টল করা হয় বিক্রিয়া গ্যাসকে আয়নিত করতে এবং প্লাজমা তৈরি করতে। রক্তরসের উচ্চ কার্যকলাপ প্রতিক্রিয়া ত্বরান্বিত করে। এটির ভাল অভিন্নতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা রয়েছে, এটি একটি বৃহৎ অঞ্চলে ফিল্ম তৈরি করতে পারে, কম তাপমাত্রায় ফিল্ম তৈরি করতে পারে, চমৎকার স্টেপ কভারেজ রয়েছে এবং ফিল্মের গঠন এবং বেধ নিয়ন্ত্রণ করা সহজ এবং শিল্পায়ন করা সহজ। এটি গ্রাফিন, সিলিকন মনোক্সাইড, সিলিকন নাইট্রাইড, সিলিকন অক্সিনিট্রাইড এবং নিরাকার সিলিকন (A-SI: H) এর মতো পাতলা ছায়াছবির বৃদ্ধিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
| ফার্নেস টিউবের আকার (MM) | অপারেটিং তাপমাত্রা (°C) | ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি | শক্তি (কিলোওয়াট) | ভোল্টেজ | গরম করার উপাদান | গরম করার হার |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0.1 এমপিএ 10PA 6.67*10- 4PA | 3 | 220/380V | প্রতিরোধের তার | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
একটি মৌলিক গঠন ভ্যাকুয়াম ফার্নেস একটি ভ্যাকুয়াম ফার্নেস নিয়ন্ত্রিত নিম্ন-চাপের অবস্থার অধীনে কাজ করার জন্য ডিজাইন করা বিভিন্ন সমন্বিত সিস্টেমের সমন্বয়ে গঠিত। মূল কাঠামোতে একটি ভ্যাকুয়াম চেম্বার, হিটিং সিস্টেম, নিরোধক সমাবেশ, ভ্যাকুয়াম পাম্পিং ইউনিট এবং নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। প্রতিটি উপাদান তাপ চিকিত্সার সময় একটি স্থিতিশীল তাপ এবং বায়ুমণ্ডলীয় পরিবেশ বজায় রাখতে একটি নির্দিষ্ট ভূমিকা পালন করে। ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি সাধারণত স্টেইনলেস স্টিল বা কার্বন স্টিল থেক...
